非平行光的曝光作業(yè)中（以“點(diǎn)”為光源的曝光機(jī)），吸真空度的大小程度是影響曝光品質(zhì)的重大因素，空氣也是一種介質(zhì)層，在曝光時(shí)如果在板、菲林、抽氣膜之間存在有空氣，那么就會(huì)產(chǎn)生光的折射，影響曝光的效果，吸真空不但是為了防止光的折射，同時(shí)也是為了不讓菲林與板面的間隙會(huì)擴(kuò)大，保證對(duì)位/曝光的質(zhì)量。